6月24日，在北京航空航天大學(xué)，集成電路學(xué)院科研人員在5個(gè)原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“100年”。新華社記者鞠煥宗攝
磁性芯片生產(chǎn)過程中，需將納米磁性薄膜均勻鋪在晶圓（制作硅半導(dǎo)體集成電路所用的襯底）上。確保所有晶圓完全“躺平”有多難？北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系教師張學(xué)瑩表示，其相當(dāng)于在北京的海淀區(qū)地面上均勻鋪滿5層厚的小米粒，且須完全平整，“因此，檢測薄膜的平整度尤為關(guān)鍵。”
張學(xué)瑩介紹，科研人員利用檢測儀器，通過微小的磁性針尖在薄膜上寫字，若字的顏色對比度一致、字跡清晰，則表明薄膜有良好的均勻性。完成平整度檢測后，將納米薄膜制成器件，封裝后形成芯片。
6月24日，在北京航空航天大學(xué)，集成電路學(xué)院科研人員（前）在5個(gè)原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“中國芯”。新華社記者鞠煥宗攝
該檢測儀器，正是由北航集成電路學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)研發(fā)的晶圓級磁光克爾測試儀。
北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系主任王新河說，磁性芯片可作為高可靠的信息存儲模塊和高靈敏的磁信號傳感模塊，應(yīng)用于飛機(jī)、衛(wèi)星的控制系統(tǒng)，以及手機(jī)電子羅盤、汽車自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域。而磁性芯片生產(chǎn)過程中的磁性薄膜檢測這一關(guān)鍵技術(shù)，屬于我國長期被“卡脖子”的技術(shù)。
“對比國外同類設(shè)備，這臺儀器在測試精度和速度等方面進(jìn)行了技術(shù)革新，實(shí)現(xiàn)了自主創(chuàng)新突破。”王新河說。
6月24日，在北京航空航天大學(xué)，集成電路學(xué)院科研人員在用磁性筆尖檢測納米薄膜的磁性。新華社記者鞠煥宗攝
據(jù)了解，該儀器現(xiàn)已應(yīng)用于科研領(lǐng)域，且預(yù)計(jì)于今年10月在產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域投入商用。
早在1993年，中國科學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)就用10個(gè)原子擺出“中國”字樣，標(biāo)志著我國可自主實(shí)現(xiàn)原子操縱。如今，用于書寫“100年，中國‘芯’”的晶圓級磁光克爾測試儀，為具有百億元市場規(guī)模的磁性芯片產(chǎn)業(yè)提供設(shè)備支撐。
從“中國”，到“100年，中國‘芯’”，背后的科研突破成為我國高科技自主創(chuàng)新能力不斷提升、國家科技力量持續(xù)增強(qiáng)的一個(gè)縮影。
“作為科研一線的基層黨員，我覺得扎實(shí)搞研究、實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新突破，便是我們對建黨百年最好的獻(xiàn)禮。”張學(xué)瑩說。（記者烏夢達(dá)、趙旭）
